一家名不见经传的小公司，藏身于沈阳市浑南区一处僻静小院，投资仅3亿多元，历时短短四五载，就一举突破少数国际巨头的垄断，在全国首次实现大规模集成电路专用薄膜设备（PECVD设备）的量产，被誉为IC装备业界的“隐形冠军”。它就是沈阳拓荆科技有限公司。图为工作人员在组装6英寸大规模集成电路专用薄膜设备（PECVD设备）。新华社记者 潘昱龙 摄